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          1. 客服热线:18680281884

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            CGO系列高低温真空探针台可满足6 英寸样品测试,高真空结构可避免低温结霜、高温氧化等情况,保证测试准确性。可用于晶圆测试、 LED 测试、功率器件测试、光电测试、场晶体效应管测试等不同产品和应用场景,亦可升级做射频测试。

            名称:CGO高低温真空探针台
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            CGO系列高低温真空

            探针台

             

            高低温真空探针台.png

             产品介绍

            高低温真空探针台.png

             1.1 功能介绍

             

            CGO系列高低温真空探针台可满足6 英寸样品测试,高真空结构可避免低温结霜、高温氧化等情况,保证测试准确性。可用于晶圆测试、 LED 测试、功率器件测试、光电测试、场晶体效应管测试等不同产品和应用场景,亦可升级做射频测试。

             

            1.2 技术参数

             

            型号

            基本参数

            CGO-2CGO-4CGO-6
            腔体样品台尺寸

            2英寸

            4英寸

            6英寸

            样品固定

            弹簧压片

            观察窗口

            2英寸

            4英寸

            6英寸

            真空度

            10-5torr

            探针臂接口

            最多4个探针臂接口

            最多6个探针臂接口

            其他接口

            电信接口、真空接口、光纤接口、冷源接口

            温控系统

            制冷方式

            液氮/液氣/制冷机

            温度范围

            77K  573K/4.5K  573K

            温控精度

            0.1K/0.01K/0.001K

            稳定性

            ±1K/±0.1K/±0.01K

            显微镜

            显微镜类型

            单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜

            放大倍率

            16X-200X/20X-4000X

            移动行程

            水平360度旋转,Z轴行程50.8mm

            光源

            外置LED环形光源/同轴光源

            CCD

            200万像素/500万像素/1200万像素

            探针臂

            X-Y-Z移动行程

            50mm*50mm*50mm

            结构

            外置探针臂,真空波纹管结构

            移动精度

            10微米/I微米

            探针夹具

            线缆

            同轴线/三轴线/射频线

            漏电精度

            10pA/100fA/10fA

            固定探针

            弹簧固定/管状固定

            接头类型

            BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子

            探针

            频率支持

            DC-110GHz

            针尖直径

            0.2微米/I微米/2微米/5微米/10微米/20微米

            材质

            钨钢/铍铜

            真空组件

            分子泵组/机械泵/离子泵

            冷源组件

            50L/100L液氮罐/液氮罐/制冷机

            外形

            880mm *880mm *600mm 

            980mm *980mm *600mm 

            重量

            100千克

            120千克

            可选附件

            超高温配件

            屏蔽箱

            高压测试配件

            显示器

            光学平台

            分子泵组

            转接头

            镀金卡盘

            激光系统

            射频测试配件

            光电测试配件

            气敏测试配件

            根据客户要求定制



            应用案例:


            北京师范大学CGO探针台.png华为OCG高低温探针台.png南科大CGO高低温真空探针台.png
            中国石油大学CGO高低温真空探针台.png西南交通大学OCG高低温真空探针台.png南方科技大学OCG高低温真空探针台.png
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